PVD技術(shù)中經(jīng)常使用的方法主要有:蒸發(fā)鍍膜(包括電弧蒸發(fā)、電子槍蒸發(fā)、電阻絲蒸發(fā)等技術(shù))、濺射鍍膜(包括直流磁控濺射、中頻磁控濺射、射頻濺射等技術(shù)),這些方法統(tǒng)稱物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition),簡(jiǎn)稱為PVD。行業(yè)內(nèi)通常所說的“IP”(ion plating)離子鍍膜,是因?yàn)樵赑VD技術(shù)中各種氣體離子和金屬離子參與成膜過程并起到重要作用,為了強(qiáng)調(diào)離子的作用,而統(tǒng)稱為離子鍍膜。
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