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PVD鍍膜的基礎(chǔ)概念及特性

作者:admin 發(fā)布日期:2020-12-31 關(guān)注次數(shù): 二維碼分享
PVD鍍膜應(yīng)用效果很好,使TiN涂層刀具很快得到普及性應(yīng)用,利用銅坩堝加熱融化被鍍金屬材料,利用鉭燈絲給工件加熱、除氣,利用電子槍增強(qiáng)離化率,PVD鍍膜不但可以得到厚度3~5μm的TiN涂層,而且其結(jié)合力、耐磨性均有不俗表現(xiàn),甚至用打磨的方法都難以除去,或純金屬薄膜。

PVD鍍膜中PVD是英文”PhysicalVaporDeposition”的縮寫形式,意思是物理氣相沉積。較為成熟的PVD方法主要有多弧鍍與磁控濺射鍍兩種方式。多弧鍍?cè)O(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,容易操作。它的離子蒸發(fā)源靠電焊機(jī)電源供電即可工作,其引弧的過(guò)程也與電焊類似,具體地說(shuō),在一定工藝氣壓下,引弧針與蒸發(fā)離子源短暫接觸,斷開,使氣體放電。

此外,PVD鍍膜涂層顏色較為穩(wěn)定,尤其是在做TiN涂層時(shí),每一批次均容易得到相同穩(wěn)定的金黃色,令磁控濺射法望塵莫及。多弧鍍的不足之處是,在用傳統(tǒng)的DC電源做低溫涂層條件下,當(dāng)涂層厚度達(dá)到0.3μm時(shí),沉積率與反射率接近,成膜變得非常困難。而且,薄膜表面開始變朦。

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